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雷尼绍激光干涉仪回转轴精度的测量方法

2023.5.24

超级艾蛋木啊

致力于为分析测试行业奉献终身

其测量过程可以概述为以下5步：

将WR50安装于回转轴中心，调整位置使偏心量尽可能小于0.1mm；
按图2所示安装好角度反射镜，调节激光激光干涉仪位置。
编写机床程序，设置回转轴测量的目标点和暂停时间，在激光干涉仪软件中做好相应设置。
调整WR50置于零位，激光干涉仪读数置零。

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