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雷尼绍激光干涉仪测量回转轴精度时,需要转台附件(XR20-W)配合使用,此外还需要使用角度干涉镜。如果你使用的是有线转台附件(RX10),则还需要使用角度反射镜。
测量回转轴精度时,
第一步,需要将转台附件的中心,与回转轴中心对齐(偏差在1mm之内)。
第二步,搭好光路。
第三步,可以运行测量软件进行测量。