热场在总发射电流

热场在总发射电流（ emission current）、最大探针电流（Maximum probe current）、噪声（Beam noise）、发射电流漂移（Emission current drift）、工作真空（Operating vacuum）、阴极还原（Cathode regeneration）、对外部影响的敏感性（Sensitivity to external influence）等方面都具有一等的优势。这些参数直接影响的性能。在阴极半径（Cathode radius）、有效电子源半径（Effective source radius）、发射（Emission current density）、标准亮度（Normalised brightness）等方面，冷场发射略胜一筹。这几个参数总起来说就是冷场发射阴极的发射面积较小、能量集中，便于将聚焦于一个很小的点，以提高分辨率。但是在现代的技术条件下，热场发射通过采取各种有效措施，也能够将电子束汇聚于一个理想的点，达到冷场发射电镜的分辨率水平。
热场发射电镜主要的一个缺点是灯丝（阴极）寿命较短，给定寿命2000小时，实际可用3年左右。而冷场发射阴极寿命相对较长，且更换费用较低。