电子探针分析有两种扫描方式:线扫描分析和面扫描分析。
(1)线扫面分析
使聚焦电子束在试样观察区内沿一选定直线(穿越粒子或界面)进行慢扫描。
X射线谱仪处于探测某已知元素特征X射线状态,得出反映该元素含量变化的特征X射线强度沿试样扫描线的分布。
X射线谱仪处于探测未知元素状态,得出沿扫描线的元素分布图,即该线上包含有哪些元素。
(2)面扫描分析
聚焦电子束作二维光栅扫描;X射线谱仪处于探测某一元素 特征X射线状态,得到由许多亮点组成的图像,即X射线扫描像或元素面分布图像。
元素含量多,亮点密集。根据图像上亮点的疏密和分布,确定该元素在试样中分布:亮区代表元素含量高,灰区代表含量低,黑区代表含量很低或不存在。