1.二者原理不同:
椭偏仪：通过测量光波经样品反射后偏振态的变化来获得样品的信，可测量膜层厚度d、折射率n和消光系数k，或者直接测量固相材料的折射率n和消光系数k。
反射式膜厚测量仪：一般是利用白光干涉的原理，通过测量光波经样品反射后幅值（或者说光强）的变化来获得膜层的厚度d、折射率n和消光系数k信息。
2.二者适用范围不同：
椭偏仪适合：厚度为0.1nm到几微米的薄膜测量，其厚度测量精度可达到原子层量级，即0.1nm以下。
反射式膜厚测量仪适合：厚度为50纳米到几十微米的稍后些的薄膜，其厚度测量精度为1nm以上。
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