| 仪器名称： | 手动探针台-Semishare SH-12 |
| 仪器编号： | 18026682 |
| 产地： | 中国 |
| 生产厂家： | 森美协尔 |
| 型号： | Semishare SH-12 |
| 出厂日期： | |
| 购置日期： | 2018-10-25 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>高精尖 |
| 放置地点： | 荷清大厦高精尖一层实验室 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | 15210967285 |
| 固定email： | jtyang@mail.tsinghua.edu.cn |
| 联系人： | 杨建涛（010-61453947,15210967285,jtyang@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 集成电路 |
| 技术指标： | 12" 卡盘，采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制，中心吸附孔最小可以选择250微米，卡盘平整度: 5μm， 标准卡盘可360度无间隙旋转，卡盘旋转微调+-15°，调节精度0.1°/4、卡盘X/Y轴无间隙移动，采用大手柄旋转控制，行程：12英寸X12英寸，移动精度：1um，并带锁死装置，可调节显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动，精度1微米（系统不包含显微镜），探针平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能，探针平台可以上下微调，行程25mm，升降精度1um，显微镜可以实现50~500倍连续可变，磁力吸附，带磁力开关，X-Y-Z 方向的移动行程分别为12mm，精度0.7 微米。 USB接口高清（500万像素）CCD |
| 知名用户： | 付军（微电子），任天令（微电子），王燕（微电子），吴华强（微电子），闫剑锋（机械系），赵嘉昊（精仪系） |
| 技术团队： | 测试工作由实验室资深的工程师或者技术人员进行操作和支援。 |
| 功能特色： | 连接晶圆与测试设备，开展电学测试 |
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 手动探针台测试费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 80.0 |
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