| 仪器名称： | 刻蚀系统 |
| 仪器编号： | 04009242 |
| 产地： | 台湾 |
| 生产厂家： | 弘塑科技有限公司 |
| 型号： | NitrideEtch |
| 出厂日期： | 200312 |
| 购置日期： | 200410 |
| 所属单位： | 物理系>纳米中心>纳米中心加工平台 |
| 放置地点： | 纳米楼超净间 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 马伟涛（010-62796022,13910326054,413113259@qq.com） |
| 分类标签： | 微纳加工 05080713 |
| 技术指标： | 工艺设定温度：20-25度 混合化学药剂溶液：NH4F+HF 溶液槽容量：10L |
| 知名用户： | 校内用户：清华大学化学系、物理系、材料系、环境系、核研院、航院、精仪系、机械系、微电子所、电子系、医学院、工物系、热能系、力学系、建筑系、水利系、土木系、电机系、基础工业训练中心等二十余个院系。校外用户：北京大学、中科院国家纳米中心、半导体所、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地质大学、成都电子科技大学、上海交通大学、同济大学等多个课题组 |
| 技术团队： | 属于纳米中心测试加工平台，有完善的组织管理体系，有经验丰富的仪器维护管理工程师和专业的实验员，还有纳米中心厂务部门支持仪器外部的水、电、气供应。 |
| 功能特色： | 设备配有排风管道，随时抽走挥发性的酸碱 设备自动化程度高，可以控制温度并且监测温度 能够自动和手动控制每个溶液槽操作 细微调节水槽补水、放水、溢流时间 面板式按钮操作，直观易操作 |
样品要求：
样品尺寸：最大可腐蚀4英寸衬底
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 湿法刻蚀 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 300.0 |
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