| 仪器名称： | 薄膜应力计 |
| 仪器编号： | 12030409 |
| 产地： | 日本 |
| 生产厂家： | TOHO |
| 型号： | FLX-2320S |
| 出厂日期： | 201212 |
| 购置日期： | 201212 |
样品要求：
样品大小可为4、5、6、8英寸。
预约说明：
实验室的设备采用网上预约的方式、以先约先用为基本原则
取消预约需提前2个小时通过网上取消预约
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析 |
| 放置地点： | 微电子所新所一层微纳平台 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 曹秉军（010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn） 窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 半导体 应力 材料分析 MEMS |
| 技术指标： | 应力范围：1 Mpa~ 4×103 Mpa。 圆片尺寸：直径100mm（4 in. ）、125mm（5 in. ）、150mm（6 in. ）、200mm（8 in. ）。 温度范围：室温~ 500℃（该设备目前只能在常温下测试，因为没有连接用于降温的冷却气体）。 |
| 知名用户： | 王敬：微电子所 |
| 技术团队： | 设备工程师：曹秉军 测试工程师：陈雅璐 |
| 功能特色： | 测量不同温度条件下的薄膜应力。应力范围：1 Mpa~ 4×103 Mpa。可测试4、5、6、8英寸晶圆片。 |
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 测试费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 400.0 | |
| 测量薄膜应力 | 元/小时 | 测试费 | 400.0 |
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