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EBSD 探测器在透射菊池衍射技术中的应用 第三篇

牛津仪器科技
2017.9.25

在这篇应用中,我们以高压扭转(HPT)变形的钢样品为例,介绍最新的Symmetry EBSD探测器在TKD分析方面带来的革命性的突破。

在室温下,利用高压扭转变形,使这个钢的样品内部产生了很多纳米结构的组织,如下图所示,样品上采集了约1mmx1mm的区域,步长4nm,速度达到165点/秒,标定率达到约80%。样品的平均晶粒尺寸达到51±2nm,TKD能分析除了最小的晶粒以外的绝大部分晶粒。除了纳米晶粒以外,由于大变形,样品中含有大量高密度的几何必需位错(GND),取向变化剧烈,100nm范围内的取向变化甚至超过10°。由于变形,部分晶粒内还含有少量Ʃ3的孪晶界。利用Symmetry探测器,我们能快速地采集高清晰度的花样,在这个实例中达到了165点/秒和311x256像素。Symmetry探测器使得我们能对这类非常具有挑战性的微观组织进行快速而有效地表征。

上图为高压扭转钢样品的花样衬度图和取向分布图,大角晶界黑色,小角晶界灰色,Ʃ3的孪晶界红色。

以上结果,展示了新一代基于CMOS技术的Symmetry EBSD探测器在TKD实验中表现出的强大能力。在高速条件下,采集高清晰度衍射花样的能力,使得Symmetry成为TKD实验理想的探测器。同时,Symmetry EBSD探测器允许通过调整探测器的倾斜角度,来调整探测器的高度,使得样品和探测器都能在高分辨的TKD实验最佳的几何位置上工作。

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