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为电子行业而生,M500e在线TOC分析仪,你值得拥有!

苏伊士Sievers分析仪
2021.3.23

Sievers® M500e总有机碳TOC分析仪实现关键有机污染物在线检测,优化产量,并确保超纯水质。

Sievers产品迈上新台阶

M500e分析仪在原 Sievers 500 RLe TOC分析仪的稳定性基础上,进一步完善了界面,提高了超低浓度检测的准确性,并能在几分钟内得出检测结果。M500e是Sievers第三代在线分析仪,使在微电子领域中领先长达数十年的Sievers产品迈上了一个新的台阶。M500e采用Sievers膜电导技术,无需试剂,可实现低于1 ppb TOC的准确性、精确性和稳定性。

主要特点

可选项

电导率/电阻率

用WiFi和以太网进行远程数据访问

10英寸触摸屏

界面直观

设置一目了然

耐化学腐蚀

设计

IP55和全IP接口

占地面积与500 RLe相同,升级简便

取样系统

集成在线取样系统(iOS,Integrated Online Sampling System)能够添加标准品

基本型号带不锈钢取样器

卓越的性能和特性,适用于微电子行业

加快冲洗

双倍速度

为使正常运行时间和低浓度数据收集能力最大化,M500e采用更快速的冲洗时间,可实现:

冲洗周期比上一代产品快50%以上(低至3分钟)

最多数据生成,即使在维护或消耗品更换后也是如此

低浓度校准和验证协议

确保质量和控制

新低浓度校准(250 ppb 邻苯二甲酸氢钾KHP)和确认(100 ppb异丙醇IPA)

使用经认证的标准品,在接近操作范围进行校准,并使用难以氧化的化合物进行确认。

自适应自动归零

根据变化自动调节

根据TOC偏移量的变化,M500e自动确定TOC自动归零频率。这允许:

校正结果间差异

无需手动变更自动归零频率

小于1 ppb TOC的精确性和稳定性

仪器间匹配

Sievers膜电导TOC检测技术

专利的透气膜仅选择性地

透过有机物氧化产生的CO2

无与伦比的可靠性、稳健性和准确性

更高的选择性、灵敏度、稳定性和精确度

区分有机和无机碳,为过程控制提供关键信息

增强响应性和快速分析

3分钟分析时间

加速冲洗

自适应自动归零

低浓度校准和确认

卓越的分析性能

TOC分析范围:0.03 ppb – 2.5 ppm

电导率范围:0.01 - 800 μS/cm(也显示为电阻率)

仪器和所有接口均为IP55

无缝界面和数据管理

设置和操作更快、更简单

应答式且信息丰富的触摸屏显示与用户界面

现代化的全面的数据管理和数据传输组合

应用领域

微电子

始终如一的超纯水(UPW)生产对于微电子制造业至关重要。通过使用Sievers M500e实施TOC监控,工厂能够:

确保水质符合推荐的TOC限值

确保有机物的完全回收,尤其是在不利于氧化的环境中。

提供关于源水、树脂系统和生产过程中所存在化合物的可靠回收数据,从而能够采取前瞻性措施,保护产品质量,并帮助进行系统故障排除。

未检出的有机物可能影响光刻,我们帮助制造运营部门,战胜这种风险。

其他超纯水应用

为实现最优运行,蒸汽发生水系统需要超纯水质。使用M500e,工厂能够:

使用一个参数:TOC,即可分析低浓度污染物(例如糖、清洁剂、冷却液或有机酸)。

确保给水质量,以减轻损失和工厂停产时间。

检测换热器中的污染物,并保护抛光系统和设备。

辨识是否存在会造成腐蚀性环境的化合物,从而避免工厂停产和设备损坏。

根据各电力行业协会的建议,保证TOC已限制为<100-200 ppb。

文末彩蛋看这里

在本篇推文下进行留言,聊一聊您与Sievers分析仪的前缘后续,或者告诉我们您对Sievers分析仪的意见、建议、产品使用感受等等,内容不限,获得精选且获得点赞数最多的前5个留言,将获得Haylou蓝牙耳机一副。

点赞结果统计日期截止为北京时间2021年3月31日中午12:00。快来参与吧!

(苏伊士保留活动解释权)

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400 887 8280

sievers.china@suez.com

cn.sieversinstruments.com

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