2021 SEMICON Taiwan
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INVITATION
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2021年台湾国际半导体展览会
诚挚邀请
帕克原子力显微镜公司(Park Systems)将于今天12月28至31日，参加在中国台北南港展览馆举办的“SEMICON Taiwan 2021(半导体展)”，展出首个将原子力显微镜 (AFM) 与白光干涉仪 (WLI) 轮廓测量技术联用相结合的半导体机台Park MX-Hybrid WLI。帕克公司推出的Park NX-Hybrid WLI 作为一种强大的半导体计量工具，将 AFM 和 WLI 的核心优势整合到一个最佳系统中。
技术创新与超越
“Park NX-Hybrid WLI 为需要大面积扫描和纳米级计量的半导体应用提供了全面互补的计量解决方案。”帕克公司业务发展执行副总裁 Ryan Yoo 博士评论道。“随着设备制造商对纳米计量要求的不断提高，WLI 和 AFM革命性的设计和无缝衔接充分显示了帕克公司致力于为客户提供优质解决方案的决心。
整合系统中，基于Park NX-Wafer而成的Park AFM，是业界领先的半导体及相关设备的自动化原子力显微镜系统，能够进行线上生产质量保证和研发。组合而成的AFM/WLI系统使用 WLI模块能够在超广的区域提供高通量成像，并使用AFM在需要的区域提供亚埃高度分辨率的纳米级计量。其中“热点检测”技术能快速定位高分辨率AFM的缺陷位置。此系统可以使用该技术比较和参考目标样本区域的图像来检测图案结构的缺陷。
Park NX-Hybrid WLI 糅合了两种互补的技术，是一个全面综合性自动化计量系统。与两个独立的系统相比，该系统可有效节约成本。
“与传统上独立的 WLI 和 AFM 系统不同，Park NX-Hybrid WLI 以无缝衔接的方式实现了更多功能，并以极低的成本创建了一个完整的集成工具，”Park Americas 总经理 Stefan Kaemmer 博士评论道。“将两种工具安装在同一个支架上并由一个 EFEM 馈送，该系统创建了完全集成和可交换的数据，减少了‘晶圆厂占地面积‘并提高了更大面积的吞吐量。”
帕克展位产品展示
SEMICON Taiwan 2021
日程：2021年12月28日-30日
Park Systems展位号：NO266
Park Systems
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