Park复播视频及课件分享：原子力显微镜在半导体领域的应用

★讲座 目录 ★

1. 原子力显微镜的基本原理

2. 显微镜 VS 计量学

3. In-line AFM在半导体领域的应用

4.总结

   随着半导体芯片技术进展,   元器件特征尺寸横向微缩的同时, 对于元器件纵向维度上的微缩,堆叠与平坦化控制也随之日趋重要, 相关线上制程监控也越来越重要。传统量测仪器面对于纵向维度上制程监控需求正面临着挑战, 然而原子力显微镜因其优异的纵向解析度与灵敏度, 近年来也获得越来越多的关注。本文介绍原子力显微镜于现今半导体芯片制程技术的量测应用, 以及其未来展望与挑战。

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