牛津仪器基于电子显微镜平台，提供了可以实现纳米级的材料表征和样品操纵的各种先进工具及设备，使您的电镜如虎添翼。
可用于材料元素微区定性定量分析、结构分析及纳米加工等工作，同时可以进一步扩展用于自动颗粒物统计、薄膜测厚、矿物解离度检测等。广泛应用于材料、地质矿物、半导体、新能源、生物化工、医药刑侦等多种领域。
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Unity系统
Unity是一种全新的扫描电子显微镜下成像技术，具有集成了背散射电子和X射线的传感器(BEX)，与EDS能谱仪协同进行工作。Unity的全新设计实现了背散射图像与元素面分布图的同步高效采集，为样品导航提供了高分辨率全彩成像技术解决方案。
Unity系统操作简单便捷，工作距离灵活，无阴影无遮挡，成像视野大，适配低真空模式；
Unity系统在极靴下工作，带来更高的成像速度和质量，可以轻松实现实时背散射图像以及化学元素成像。
全景模式可以直接在图片导航上完成大面积采集区域的确定，几分钟即可完成全域高分辨率元素成像，实现导航地图及虚拟样品的功能。
BEX探测器示意图
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Ultim® Extreme 能谱仪
SEM 中 EDS 分析高空间分辨率和低能端性能。将 Extreme 电子电路、无窗设计与几何结构和传感器的优化设计相结合，灵敏度比传统大面积 SDD高 15 倍。
可对锂元素进行检测和成像；
加速电压小于 2 kV 时块状样品中的空间分辨率低于 10 nm；
与浸没式电镜相配合，可在高达 30 kV 的加速电压下收集高质量的元素信息。
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Ultim® Max 能谱仪
Ultim Max 系列能谱仪采用高端技术设计，将大面积晶体（最大可达 170 mm2）和 Extreme 电子电路结合起来，使该系列探测器拥有采集速度快、敏感性高和定量分析准确性高的特点。
Ultim Max 系列中所有型号探测器在 130,000 cps 计数率下能够同时保证轻元素（ C Ka、F Ka ）和重元素（ Mn Ka ）的能量分辨率达到技术指标。在发货前，工厂会在 SEM 上测试探头的性能。安装时会再次测试能量分辨率，确保客户在使用时（高计数率、低电压、原位测试等条件）下得到高质量的结果。
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Xplore 能谱仪
Xplore 能谱探测器的推出完善了牛津仪器能谱产品系列，使得广大用户可以使用 AZtecLive 实时元素分布功能。
15 / 30 mm2 有效晶体面积式；
在用户电镜上保证 Mn Kα ≤ 129eV 分辨率（ @100,000cps ）；
最大计数率超过 1 Mcps；
全部零件现场可更换，保证更少的宕机时间。
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XploreCompact能谱仪
XploreCompact能谱仪是一款高通量紧凑型EDS探测器，专为TTM或紧凑型SEM中的常规微量分析而设计。
30/65 mm2 有效晶体面积；
Mn Kα≤129eV 分辨率（ @50,000cps ）；
探测元素可从B(5)到Cf(98)；
搭配X1处理器，1个探测器和2个图像通道；
最大计数率超过 1 Mcps。
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波谱仪
AZtecWave 结合了波谱仪解析X射线谱峰灵敏性、微量及痕量元素准确性以及能谱仪检测元素时的高速及高灵活性的优势。发挥波谱仪高X射线分辨率的特点，能够在更低的检测限下解析复杂的谱峰重叠。作为在高计数率下也可实现高准确定量分析的 EDS 探测器，Ultim Max 与 Wave 结合，是一款优秀的基于 SEM 下的元素显微分析系统。
具有罗兰圆几何和弯曲晶体的全聚焦波谱仪；
出色的能量分辨率，可完全解析高密度的X射线谱线；
较高的峰背比意味着检测限低于 100 ppm；
电动入射狭缝可优化分辨率和峰背比；
倾斜几何结构实现快速分析，可重复性高及样品定位更容易。
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Symmetry S3®
Symmetry S3 是市场上真正的全能型 EBSD 探测器，它采用先进的CMOS 技术是一款革命性的 EBSD 探测器。为所有 EBSD 应用提供优越的品质、灵活易用以及一系列创新设计的功能。亮点包括：
确保标定速度超过 5700 pps ，同时花样分辨率达到 156 x 128 像素；
1244 x 1024 的像素分辨率——理想的高角度分辨 EBSD；
独特的光纤板光学设计，图像畸变控制在亚像素范围内；
优异的灵敏度，所有分析都将因此受益；
软件控制的探测器倾转。
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高温原位 EBSD
为了克服红外信号的干扰，牛津仪器推出了新型高温 EBSD 探测器，在探测器的磷屏和光纤之间增加红外信号过滤装置，在高温条件下可以实现快速采集。室温条件下的性能表现与常规探测器无异，真正实现了“一机多能”。
CMOS 传感器耦合光纤传输系统，红外过滤置于磷屏和光纤之间，灵敏度接近常规探测器；
无需静态背底扣除，只扣除动态背底即可；
最快的采集速度：5700 点/秒；
衍射花样最高的分辨率：1244 x 1024 像素；
探测器高度可调整，无需重新校准；
保证在 800 ºC 工作，连续 24 小时信号无衰减。
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高温原位 EDS
应对红外辐射，牛津仪器高温EDS能谱探测器提供红外过滤装置。最高工作温度可达到 1200ºC ，可根据电镜兼容性和测试需求选择。
适用于 Ultim Max 系列 EDS 探测器 Ø 有效晶体面积：40，65，100，170 mm2；
两种红外过滤设计可供选择；
最高适用温度可达1200 ºC；对低能X射线有良好的透过性。
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RISE 扫描电镜与共聚焦拉曼成像系统
光谱仪内置于 SEM 内，与 SEM 形成一体化系统，同步获得 SEM-EDS-Raman 或 EBSD 分析结果，实现对样品进行更加全面的微观形貌及物相结构分析。
内置于SEM中的高精度压电样品台，扫描范围250*250*250um；
电镜内实现拉曼成像空间分辨率优于 450 nm；
可配置多个激发波长；
内置于 SEM 中 100X 长焦物镜，数值孔径0.75；
自动化拉曼-SEM切换；
可通过软件将SEM图像，显微镜白光像以及共聚焦拉曼成像重叠。
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Cryo lift - out
牛津仪器纳米操作手 OmniProbe 的低温提取( Cryo lift-out )将样品提取功能扩展至低温样品（包括用高压冷冻法制备的样品）。
低温-聚焦离子束显微镜（ Cryo-FIB ）的提取功能可以在经第三方低温系统冷却至 -180 °C 的样品上操作。通过结合低温-透射电子显微镜（ Cryo-TEM ）或低温-原子探针( cryo-atom probe )可以拓展纳米分析的样品类型和应用领域 。
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AZtecTEM
AZtecTEM 是一款专为透射电镜用 EDS 分析而设计的软件。
AZtecTEM 是一种用于表征纳米级材料的分析系统。凭借牛津仪器超过 30 年的 TEM 技术经验，Aztec 几乎可以满足您对 TEM 新一代 EDS 系统的任何需求。
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AZtecFeature
AZtecFeature 是一款专用于 SEM / TEM 的自动颗粒物检测及分析解决方案。包含有 FeatureExpress 新功能的 AZtecFeature 结合了各种智能方法，将高通量与高准确性结合起来，为各类用户提供颗粒分析所需的高质量结果。
AZtecBattery：锂电池异物分析系统；
AZtecSteel：钢铁夹杂物分析系统；
AZtecClean：汽车清洁度检测系统；
AZtecMineral：矿物解离度丰度检测系统；
AZtecAM：增材制造分析检测系统；
AZtecGSR：刑侦专用枪击残留物、金属致伤物及硅藻检测系统。
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AZtecCrystal
AZtecCrystal 提供了处理和分析 EBSD 数据所需的工具，并帮助解决您的材料问题。AZtecCrystal 可与 AZtecHKL 无缝集成或作为独立程序运行，为专家和新手都设定了 EBSD 数据处理的新标准。
针对快速处理和大数据进行优化；
直观的布局，多种观看模式可供选择；
面分布图、极图和 ODF 图显示和分析；
多个高级微观结构分析工具；
智能数据处理和材料设置。
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AZtec LayerProbe
Layerprobe 是 SEM 中用于薄膜分析的一个令人兴奋的软件工具。与专用的薄膜测量工具相比，AZtec EDS 微观分析系统中的选配功能Layerprobe ，速度更快、性价比更高、分辨率更高。
SEM 中的薄膜分析；
表征样品表面下的多层膜；
无损分析；
从 2 nm 到 2000 nm 的多层膜厚度和成分分析；
横向分辨率低至 200 nm；
使用只需简单设置，高性价比的 SEM 或 FIB - SEM 扩展功能；
无缝集成，可以在现有系统上升级。
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