展会预告丨中科科仪即将亮相SEMICON CHINA 2023

SEMICON CHINA 2023

跨界全球·心芯相联

时间：2023年6月29日-7月1日

地点：上海新国际博览中心

中科科仪展位：E7馆 E7146

半导体产业是一个关键战略性产业，对于整个人类文明进步，国家科技乃至大国国力的体现都有着巨大的影响。SEMICON CHINA 2023是由中国电子商会和SEMI主办的全球规模最大、最具影响力的半导体盛会，本届展会展览面积达90000平米，将有1100余家展商参展，覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等全产业链。SEMICON China见证了中国半导体制造业茁壮成长，加速发展的历史，也必将为中国半导体制造业未来的强盛壮大作出贡献。

• 高性能肖特基场发射电子枪，亮度高、单色性好、束斑小、寿命长；
• 具备卓越的低加速电压成像性能；
• 超大样品腔室，更多扩展接口，满足多探测器、多功能联用、多嵌入原位测试，束流稳定，满足长时间工作需求；
• 非导体试样或电子束敏感试样可不喷涂导电膜直接观测。

• 配置灵活，可选择分体式或一体式安装；
• 大抽速、耐腐蚀、防沉积；
• 高洁净、免维护、低振动；
• 自动保护、防冲击、远程故障诊断；
• 满足定制化需求。

• DN100小口径五轴全磁悬浮分子泵，填补国内空白；
• 性能优异，小分子气体抽气效率高；
• 高洁净、免维护、低振动；
• 优越的抗气体冲击能力；
• 满足定制化需求。

• 最小可检漏率达5X10^-13Pa.m³/s，检漏范围覆盖12个量级；
• 最大检漏压强2,500Pa，最高可耐10,000Pa；

• 对氦气抽速可达2.5L/s，清氦能力强劲，可快速进入工作状态；

• 配置两根独立的氧化钇灯丝，使用寿命长；

• 智能控制器——多功能触摸屏、支持手持操作；

• 通讯接口丰富、内置SD存储卡。

• 适用真空度范围：1×10⁵Pa ～ 10^-6Pa；
• 漏率：≤1.3×10^-10Pa.m³/s；
• 智能调压，控制简便；
• 质量稳定，性能优异；
• 一体设计，高度集成。

2023年6月29日-7月1日

上海新国际博览中心

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