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独家方案、行业发展趋势、技术需求与挑战 - TESCAN与蔚华在半导体大会上接受媒体采访

TESCAN公司
2023.7.14

6月29日至7月1日,SEMICON China 2023在上海新国际博览中心举办。TESCAN联合蔚华科技共同亮相E7馆,并向观众展示半导体解决方案。

采访背景

视频来源:媒体

展会期间,TESCAN 中国区总经理冯骏和蔚华电子科技(上海)总经理林建宇就参会感受、解决方案、行业发展趋势等话题,接受了媒体的采访。

TESCAN 中国区总经理冯骏(左)和蔚华电子科技(上海)总经理林建宇(右)在SEMICON China 2023展位上合影。

以下是采访文字版

采访人物

 

冯骏

TESCAN 中国 总经理

林建宇

蔚华电子科技 总经理

 

采访内容

你好,我是蔚华林建宇。蔚华在大陆半导体市场已经经营了将近20年,这次是蔚华大概第十次参与。除了之前因为疫情去年我们没有参与之外,最近的十年我们都有参与。

对于TESCAN来说,我们这次是第一次和蔚华来参加这个的展会。蔚华是我们在半导体解决方案的独家代理商,我们也希望能够和蔚华一起在中国大陆市场拓展业务。

这次主要是TESCAN这边的一个关于(封装检测失效分析的)FIB-SEM 方案。另外,蔚华本身还有另外的封装测试解决方案、第三代半导体的解决方案以及堆叠的一些整体方案。总体来讲,主要是跟TESCAN做一个技术合作。

对,大家都看到了这一次我们是和蔚华联合参展。但是主要展示的产品,特别是在现场我们看到的展品都是以TESCAN产品为主。

针对半导体行业来说,电子显微镜、扫描电子显微镜、FIB和透射电镜都是必要的设备,而且市场规模非常大。TESCAN有成套的扫描电镜FIB,和包括最新发布的TEM的解决方案。

我们目前展示的是针对半导体透射制样的专用机型SOLARIS(镓离子FIB-SEM)。

同时,我们也第一次的把我们的透射电镜模型放到了展台,大家可以了解一下TESCAN透射电镜(点开下方图片,长按识别二维码)。

对于蔚华来说,目前封装测试方案有增加3D的封装测试、检测设备的解析度,以及多元化的设备产出。对我们来说,其实最大技术就是自有产品的一些研发,针对于新的例如第三代、三代半的半导体一些测试。

针对TESCAN产品来看,实际上我们刚刚提到FIB和透射电镜是半导体行业里非常重要的分析测试工具。

我们与其他FIB厂家很大的不同是,这次我们带来了针对12寸wafer全尺寸扫描电镜和FIB解决方案。这个解决方案是在行业里其他厂家所不具备的。因为作为一个传统的离线式的失效分析工具,很多原来的解决方案都是通过晶圆裂片的方式来做失效分析检测的,而我们可以直接将8寸或是12寸的晶圆放在我们的扫描电镜或FIB里面。

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● 12英寸晶圆检测及FIB加工解决方案

对于透射电镜,我们这次推出来的是带旋进辅助技术的4D-STEM。我们也和国内某家知名半导体厂家开始了Demo测试工作,给出了很多用户非常感兴趣的晶体结构和晶体取向分析结果。我相信这些结果也会对半导体失效分析技术带来突破性的发展。

针对于蔚华来说,刚刚提到第三代半的半导体测试,是一个非线性光学、非破坏性的一个检测。目前业界并没有相当完善成熟的一个测试方案。这次蔚华与南方科技合作提供了一种检测方式。所以针对未来高功率汽车行业的半导体发展,可能会在这边做更多的琢磨。

对TESCAN来说,目前针对半导体的失效分析,我们在不断地完善FIB产品。在这个市场,我们是后来者,但是我们离领先者的那个距离越来越近了。

我们认为作为一个成熟的半导体失效分析检测工具,它的稳定性,以及自动化功能是非常重要的。所以说针对FIB,我们推出了接近于全自动的透射样品制样的功能。针对我们的透射电镜,我们的所有镜筒的对中聚焦、整个镜头的调试也采用自动化技术,可以大大地方便操作,降低我们半导体客户在使用设备上面的难度。

其实这一块的话我觉得话题比较敏感,但是我们可以简单的发表一下我们自己的观点。

我想大国竞争可能是长期的一个过程。虽然我们看到中美关系中最近由于美国国务卿的访华有一定的改善,但是我想这个竞争会是一个长期的过程。作为一家欧洲公司,我们是相对独立的。从扩展中国市场方向来看,我们是看好中国市场的发展的。目前,上了美国政府的商务部清单上面的企业我们是不会接受的;我们(和一些国内头部企业)建立了非常好的合作关系。对TESCAN来说,我们不会受到这方面的影响。相反,如果由于我们的一些竞争对手受这方面影响的话,可能会给TESCAN一个更好的发展机会。

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