消费电子、太阳能电池及精密光学等领域使用了大量薄膜及涂层材料以实现不同功能。此类材料的性能与其厚度及化学成分设计密不可分,因此,可靠高效的薄膜表征手段是其研发、质量监控及失效分析不可缺少的一环。
传统的薄膜分析技术有椭圆偏光仪、X射线荧光光谱及聚焦离子束,下表对比了这三种技术的不同之处。
LayerProbe是一种新型的无损薄膜检测手段,它兼具了高效、低成本、高分辨率等特点。其原理是利用不同膜层及基底所产生的EDS信息通过自动迭代预设的模型中的未知项来计算膜层的成分及厚度。Layerprobe可对最多7层不重复的膜结构(不包含基底)进行膜厚及成分检测。
图 1:材料模型页面。基体-硅,镀层-Al2O3,
未知量-镀层厚度、元素浓度
图 3:结果页面。理论谱图与实验谱图高度契合,同时提供了K因子预测值与实际值的相对误差
图 4:铝膜的厚度梯度分布。通过重建谱图,可获得线(面)分析中每个像素点处的成分-膜厚信息
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