近日,国仪量子在2023全国电镜年会期间发布了全新的超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X,分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV,进一步夯实了国产高端电镜发展的基础。
深度挖掘用户需求 全新升级实现超强性能
SEM5000X如何“挑战极限”?
极限挑战一:挑战超高分辨率
SEM5000X在15 kV下分辨率优于0.6 nm,1 kV下分辨率优于1 nm,成功挑战了热场发射扫描电镜的极限分辨率。
国仪量子对SEM5000X电子光学系统中的物镜部分做了特殊的改进优化,电透镜和磁透镜的重合度进一步提高,使得色差减小了12%、球差减小了20%,整体上提升了电镜的分辨率。
极限挑战二:不惧高难样品
在SEM5000X产品设计中,增加了样品台减速模块,采用了高压隧道和样品台减速的组合,实现双减速技术,能够挑战极限样品拍摄场景。
极限挑战三:适应复杂环境
此外,我们自研了高精度的优中心样品台,采用了超稳定的机架,还额外设计了可屏蔽环境干扰的全包围式屏蔽系统,使SEM5000X能够轻松适应各种复杂环境。
如果您需要一台更高性能,更高分辨率的电镜,那您一定不能错过超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X。
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应用案例展示
介孔二氧化硅/1 kV(Dul-Dec)/lnlens
阳极氧化铝板/10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
肾脏切片/5 kV/BSED-COMP
泡沫镍/2 kV/ETD-SE
蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE
金颗粒/1 kV/Inlens
光刻胶/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化剂/1 kV/ETD-SE
波导/1 kV/ETD-SE
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