IEC 62047-34:2019
半导体器件微机电器件第34部分:硅片上MEMS压阻压敏器件的试验方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 34: Test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device on wafer
- 标准号
- IEC 62047-34:2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-34:2019
- 适用范围
- IEC 62047的本部分描述了MEMS压敏器件的电特性、静态性能和热性能的测试条件和测试方法。本文件适用于晶圆上开环压阻式和闭环式 MEMS 压力器件的测试。
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