NS-EN ISO 14644-1:2015
洁净室和相关受控环境 第1部分:按颗粒浓度对空气洁净度进行分类 (ISO 14644-1:2015)

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-1:2015)


标准号
NS-EN ISO 14644-1:2015
发布
2016年
发布单位
SCC
当前最新
NS-EN ISO 14644-1:2015
 
 
适用范围
ADOPTED_FROM:EN ISO 14644-1:2015 本欧洲标准的本部分根据存在的空气中颗粒物的数量浓度,规定了三种可能的占用状态下洁净室和洁净空气控制空间的颗粒洁净度分类。

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