YS/T 15-1991
硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法


YS/T 15-1991 发布历史

YS/T 15-1991由行业标准-有色金属 CN-YS 发布于 1991-04-26,并于 1992-06-01 实施。

YS/T 15-1991 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法。

YS/T 15-1991的历代版本如下:

  • 1991年04月26日 YS/T 15-1991 硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法
  •  YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

YS/T 15-1991 硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法 于 变更为 YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法。

YS/T 15-1991



标准号
YS/T 15-1991
发布日期
1991年04月26日
实施日期
1992年06月01日
废止日期
中国标准分类号
H21
发布单位
CN-YS
代替标准
YS/T 15-2015

YS/T 15-1991 中可能用到的仪器设备





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