YS/T 15-1991
硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法

YS/T 15-1991 发布历史

YS/T 15-1991由行业标准-有色金属 CN-YS 发布于 1991-04-26，并于 1992-06-01 实施。

YS/T 15-1991 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法。

YS/T 15-1991的历代版本如下：

• 1991年04月26日 YS/T 15-1991 硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法
•  YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

YS/T 15-1991 硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法 于 变更为 YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法。

标准号

YS/T 15-1991

发布日期

1991年04月26日

实施日期

1992年06月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H21

发布单位

CN-YS

代替标准

YS/T 15-2015

YS/T 15-1991 中可能用到的仪器设备