T/CSTM 00003—2019
二维材料厚度测量 原子力显微镜法

Thickness measurements of two-dimensional materials Atomic force microscopy (AFM)

标准号

T/CSTM 00003—2019

发布日期

2019年01月03日

实施日期

2019年01月04日

废止日期

无

中国标准分类号

M745

国际标准分类号

07.030

发布单位

中国团体标准

适用范围

本标准规定了二维材料厚度测量 原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。 本标准适用于可以与基底形成台阶的二维材料厚度测量。