ISO DIS 14644-18:2022
ISO DIS 14644-18:2022
- 标准号
- ISO DIS 14644-18:2022
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 引用标准
- ISO 14644-1 ISO 14644-10 ISO 14644-15 ISO 14644-17 ISO 14644-8 ISO 14644-9
- 本文件为根据产品和工艺要求、清洁度属性和功能性能特性评估个人和非个人消耗品在洁净室、洁净区或控制区的适当使用提供了指导。 所涉及的清洁度属性是空气中或表面上的颗粒或化学物质。 生物污染（活颗粒/微生物）被认为是消耗品的特殊属性。 考虑相关风险的识别。 本文件补充了 ISO 14644-5 中概述的洁净室操作。 本文件提供了有关以下方面的指导： ——确定一般...