,在优化的仪器工作条件下,采用双内标法对测定过程中存在的干扰问题进行较正,对高纯石英砂中的Al、Fe、Ca、Mg、Cu、Ni、Li、Na、K、Cr、Mn杂,质元素采用ICP-MS法同时测定。...
同时,半导体材料的电学特性对杂质的浓度非常敏感,这就需要圆晶原材料中的杂质尽可能少,硅化合物(二氧化硅)含量尽可能高才行。而想要满足上述条件,普通天然砂就玩不转了,只有天然砂中的富“硅”阶层——二氧化硅含量90%以上的石英砂——才符合标准。而且,要满足芯片制造标准,还必须是高纯石英砂,二氧化硅需达99.9%以上,同时对杂质铁和铝元素的含量有要求。...
ICP-MS是分析高纯物质中痕量杂质的最有效的方法,具有背景质谱简单,检出限低等特点。对于高纯稀土的测定,ICP-MS又有更为明显的优点:背景谱简单,各稀土元素的灵敏度高且相近;质量数集中,利于优化测定参数。能够准确测定纯度在3N以上的高纯稀土中的杂质元素。1.使用仪器:钢研纳克检测技术股份有限公司PlasmaMS 300型电感耦合等离子体质谱仪。...
目前,我国石英砂产品主要集中在中、低端产品,只有江苏太平洋石英股份有限公司等少数厂家能够批量生产高纯石英砂,而高纯石英砂是生产高纯石英玻璃管/棒和石英玻璃坩埚的主要原材料,石英玻璃以其优良的物理和化学性能被广泛应用在高端电光源、大规模及越大规模集成电路、太阳能电池、光纤、激光、航天、军事等行业中。...
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