SJ/T 31273-1994
EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for EVP-13480 magnetron sputtering machines

SJ/T 31273-1994 发布历史

本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机，其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。

SJ/T 31273-1994由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 。

SJ/T 31273-1994 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备，在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。

SJ/T 31273-1994的历代版本如下：

•  SJ/T 31273-1994 EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法

标准号

SJ/T 31273-1994

发布日期

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

行业标准-电子

适用范围

本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机，其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。

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