本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。
JB/T 2965-1992由行业标准-机械 CN-JB 发布于 1992-12-25,并于 1993-07-01 实施。
JB/T 2965-1992 在中国标准分类中归属于: J78 真空技术与设备,在国际标准分类中归属于: 23.160 真空技术。
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