SJ 2797-1987
电子级氩

Electronic grade Argon

作废

标准号

SJ 2797-1987

发布

1987年

发布单位

行业标准-电子

当前最新

SJ 2797-1987

 

 

适用范围

本标准适用于半导体材料、分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氩，按其使用要求电子级氩分为两级，代号为： 电子 Ⅱ级氩代号为：DZAr-Ⅱ； 电子 I级氩代号为：DZAr-I。

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