BS ISO 23170:2022

Surface chemical analysis. Depth profiling. Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering

BS ISO 23170:2022 发布历史

1   Scope This document specifies a method for the quantitative depth profiling of amorphous heavy metal oxide ultrathin films on Si substrates using medium energy ion scattering (MEIS).

BS ISO 23170:2022由英国标准学会 GB-BSI 发布于 2022-08-31，并于 2022-08-31 实施。

BS ISO 23170:2022在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。

BS ISO 23170:2022的历代版本如下：

• 2022年 BS ISO 23170:2022

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标准号

BS ISO 23170:2022

发布

2022年

发布单位

英国标准学会

当前最新

BS ISO 23170:2022

 

 

适用范围

1   Scope This document specifies a method for the quantitative depth profiling of amorphous heavy metal oxide ultrathin films on Si substrates using medium energy ion scattering (MEIS).

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