KS I ISO 14644-13-2019
洁净室和相关控制环境第13部分:根据颗粒和化学分类达到规定清洁度的表面清洁

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 13: Cleaning of surface to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications


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标准号
KS I ISO 14644-13-2019
发布
2019年
发布单位
KR-KS
当前最新
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