T/GVS 006-2022
半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法
Method of measuring output deviation stability for semiconductor RF power supply and microwave power supply
- 标准号
- T/GVS 006-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/GVS 006-2022
- 适用范围
- 规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。
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