标准漏孔的常用校准方法有定容升压法和氦质谱检漏仪比较法。 (1)定容升压法 定容升压法校准系统示意图如图12所示。 图12:定容升压法校准标准漏孔系统示意图 经预抽并烘烤容积V后,标准漏孔进气端压力p1<1.33×103Pa,而V达到极限真空。...
图1 比较法校准氦真空参考漏孔漏率示意图校准程序校准程序如下: (a) 将待校参考标准漏孔1 连接到氦质谱检漏仪的校准装置上; (b) 打开漏孔阀门2、3,利用氦质谱检漏仪对参考漏孔和标准漏孔抽真空,使校准室压力小于1×10- 3Pa; (c) 分别打开标准漏孔阀门3,逐一测出不同量级漏率的标准漏孔对应的反应值,关闭标准漏孔阀门3,打开要校准的参考漏孔,测得另一反应值,选择两反应值尽可能相近或同一数量级的标准漏孔作为比对的标准漏孔...
目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学拟合,得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。...
如果采用通道型标准漏孔,其漏纺Q0是在进气端压力p下校准出来的,那么在上述校准中,标准漏孔进气端必须施加的压力也应为p。在漏孔流动状态未知的情况下,不能用改变标准漏孔进气端压力的办法去改变标准漏孔的漏率。要想得到新的进气端压力下的漏率值,必须通过校准。用标准漏孔校准仪器最小可检漏率和有效最小可检漏率时,标准漏孔的漏率值应为最小可检漏率值的50倍以上。...
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