SJ 3244.5-1989
砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法

Methods of measurement for compensation degree of Gallium arsenide and Indium phosphide materias

SJ 3244.5-1989 发布历史

本标准适用于n型、P型砷化镓和磷化铟单晶及高阻衬底外延层，载流子浓度在1×lO^(12)～5×10^(15)cm^(-3)范围的半导体材料的补偿度的测试分析。原则上也适用于其他Ⅲ－V族化合物材料补偿度的测试分析。

SJ 3244.5-1989由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1989-03-20，并于 1989-03-25 实施。

SJ 3244.5-1989 在中国标准分类中归属于: H83 化合物半导体材料，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

SJ 3244.5-1989的历代版本如下：

• 1989年03月20日 SJ 3244.5-1989 砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法

标准号

SJ 3244.5-1989

发布日期

1989年03月20日

实施日期

1989年03月25日

废止日期

无

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准适用于n型、P型砷化镓和磷化铟单晶及高阻衬底外延层，载流子浓度在1×lO^(12)～5×10^(15)cm^(-3)范围的半导体材料的补偿度的测试分析。原则上也适用于其他Ⅲ－V族化合物材料补偿度的测试分析。

SJ 3244.5-1989 中可能用到的仪器设备