SJ/T 31067-1994
S枪磁控溅射台完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for S-gun magnetron sputtering coaters
SJT31067-1994, SJ31067-1994
2010-02
SJ/T 31067-1994 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- SJ/T 31067-1994
- 别名
- SJT31067-1994
SJ31067-1994 - 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31067-1994
- 本标准规定了S枪磁控溅射台的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于进口S枪磁溅射台。