SJ/T 31069-1994
PRS-801型等离子去胶机完好要求和检查评定方法已作废

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for PRS-801 plasma degumming machines

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标准号

SJ/T 31069-1994

发布日期

实施日期

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了半导体器件集成电路生产用等离子去胶机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于PRS-801型等离子去胶机。