厚膜电路的优势:厚膜混合集成电路是一种微型电子功能部件.优势是是设计更为灵活、工艺简便、成本低廉,特别适宜于多品种小批量生产.在电性能上,它能耐受较高的电压、更大的功率和较大的电流.厚膜微波集成电路的工作频率可以达到 4吉赫以上.它适用于各种电路,特别是消费类和工业类电子产品用的模拟电路。 ...
除3D NAND的量测以外,还有一系列存在于微纳光学与半导体制程检测领域的关键问题,都是典型的光学逆问题。薄膜神经网络技术的提出,得益于复享光学长期以来对微纳光学逆问题的研究工作,并深度引入神经网络算法实现多维度光谱量检测的复杂应用,在光学算法上具有坚实的基础和应用经验。光谱量检测技术存在于各类微纳制造与量检测设备之中,是支撑集成电路和光电子芯片产业制造工艺的关键技术之一。...
) 工艺:半导体工艺(扩散、氧化、外延等)(2)膜集成电路(基片:玻璃、陶瓷等绝缘体) 工艺: 薄膜集成电路——真空蒸镀、溅射、化学气相沉积技术 厚膜集成电路——浆料喷涂在基片上、经烧结而成(丝网印刷技术)3、混合集成电路(Hybrid Integrated Circuit)特点:充分利用半导体集成电路和膜集成电路各自的优点,达到优势互补的目的...
壹膜厚测量半导体集成电路的生产以数十次至数百次的镀膜、光刻、蚀刻、去膜、平坦等为主要工序,膜层的厚度、均匀性等直接影响芯片的质量和产量,在加工中必须不断地检测及控制膜层的厚度。光学薄膜测厚仪是半导体生产流程中必不可少的设备之一,用于对芯片晶圆及相关半导体材料的镀膜厚度等进行检测。半导体光学薄膜测厚仪技术主要有光谱反射仪和椭偏仪两种。...
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