SJ/Z 2926-1988
集成电路制版设备性能测试方法
Test methods for properties of mask-making equipment for manufacturing of ICs
说明：
- 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
- 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
- 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
- 表示标准的节点，可以拖动；
- 绿色表示标准：SJ/Z 2926-1988 ， 绿色、红色表示本平台存在此标准，您可以下载或者购买，灰色表示平台不存在此标准；
- 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
- 标准号
- SJ/Z 2926-1988
- 发布
- 1988年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/Z 2926-1988
- 本指导性技术文件适用于自动刻(绘)图机、图形发生器、精缩照相机三类光学制版设备主要性能测试方法。测试目的在于检查设备的技术性能指标是否达到原设计或使用要求。 本指导性技术文件未规定的性能测试方法，应在各类设备技术文件中另行规定。