SJ/Z 2927-1988
集成电路制版设备名词术语

Terminology for mask-making equipment for integrated circuits manufacturing

SJ/Z 2927-1988 中，可能用到以下仪器

 

芬兰SPECIM 工业高光谱相机FX系列

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QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

 

Imager sCMOS PIV相机

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北京欧兰科技发展有限公司

 

Imager LX PIV相机

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北京欧兰科技发展有限公司

 

Imager SX PIV相机

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北京欧兰科技发展有限公司

 

Imager pro X PIV相机

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北京欧兰科技发展有限公司

 

HighSpeedStar PIV相机

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北京欧兰科技发展有限公司

 

德国徕卡 精准与可重复结果的扫描台 Leica LMT260 XY Scanning Stage

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徕卡显微系统(上海)贸易有限公司

 

手动精密定位系统

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北京欧兰科技发展有限公司

 

SJ/Z 2927-1988

标准号
SJ/Z 2927-1988
发布日期
1988年03月10日
实施日期
1988年10月01日
废止日期
无
中国标准分类号
L97
国际标准分类号
31-550
发布单位
CN-SJ
适用范围
本指导性技术文件规定的名词术语适用于集成电路光学制版主要设备的研制、使用、测试及验收。

SJ/Z 2927-1988 中可能用到的仪器设备

太赫兹光谱仪 光学成像-CCD相机


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