SJ/Z 3206.13-1989 半导体材料发射光谱分析方法通则仪器谱

SJ/Z 3206.13-1989 中，可能用到以下仪器

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标准号: SJ/Z 3206.13-1989
发布日期: 1989年02月10日
实施日期: 1989年03月01日
废止日期: 2010-02-25
中国标准分类号: L90
国际标准分类号: 31.020
发布单位: CN-SJ

适用范围: 本标准适用于锗、硅、砷化镓、磷化铟和锑化铟等半导体材料发射光谱分析方法的一般通则，其内容包括基本原理、仪器、标准溶液配制、样品处理方法、摄谱条件的选择、以及有关的一般规定。

SJ/Z 3206.13-1989
半导体材料发射光谱分析方法通则已作废

General rules for emision spectrum analysis for semiconductor materials

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半导体材料发射光谱分析方法通则已作废