SJ/T 31065-1994
24型晶片数控抛光机完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for Type 24 NC wafer buffing machines
SJT31065-1994, SJ31065-1994
2010-02
SJ/T 31065-1994 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- SJ/T 31065-1994
- 别名
- SJT31065-1994
SJ31065-1994 - 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31065-1994
- 本标准规定了晶片数控研磨、抛光机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于Kayex-Spitfre 360系统(24型)研磨、抛光机，结构类似的其它型号的研磨、抛光机，亦可参照本标准有关条款执行。