SJ 2796-1987
电子级氧

Electronic grade Oxygen

作废

标准号

SJ 2796-1987

发布

1987年

发布单位

行业标准-电子

当前最新

SJ 2796-1987

 

 

适用范围

本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧。按其使用要求电子级氧分为两级，代号为： 电子Ⅱ级氧代号为：DZO|(2)-Ⅱ； 电子l级氧代号为：DZO|(2)-I。

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