SJ/T 10583-1994
气体质量流量控制器通用技术条件

SJ/T 10583-1994 发布历史

本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。

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SJ/T 10583-1994 在中国标准分类中归属于: J72 压缩机、风机，在国际标准分类中归属于: 23.120 通风机、风扇、空调器。

SJ/T 10583-1994的历代版本如下：

•  SJ/T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件
• 2016年04月05日 SJ/T 10583-2016 气体质量流量控制器通用技术条件

SJ/T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件 于 2016-04-05 变更为 SJ/T 10583-2016 气体质量流量控制器通用技术条件。

标准号

SJ/T 10583-1994

发布日期

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

J72

国际标准分类号

23.120

发布单位

CN-SJ

代替标准

SJ/T 10583-2016

适用范围

本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。