SJ/T 31111-1994
AMC-7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for AMC-7811/21 cylinder epitaxial furnaces
SJT31111-1994, SJ31111-1994
2010-02
- 标准号
- SJ/T 31111-1994
- 别名
- SJT31111-1994
SJ31111-1994 - 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31111-1994
- 本标准规定了AMC-7811/21系列桶式外延炉的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于AMC-7811/21系列桶式外延炉。