本标准规定子半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机。
SJ/T 31100-1994由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1994-04-15,并于 1994-06-01 实施。
SJ/T 31100-1994 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备,在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。
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