18/30344520 DC
BS ISO 21466 微束分析 扫描电子显微镜 CD-SEM 评估关键尺寸的方法

BS ISO 21466. Microbeam analysis. Scanning electron microscopy. Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM


18/30344520 DC 中,可能用到以下仪器设备

 

日本电子JSM-6510系列扫描电子显微镜

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大气压扫描电镜

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聚焦离子束系统

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ULTRA 结构分析用场发射扫描电子显微镜

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过程控制用微粒分析工具/扫描电镜SEM

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聚焦离子束系统

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ULTRA 结构分析用场发射扫描电子显微镜

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Apollo 300 扫描电镜

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TESCAN LYRA3镓等离子双束FIB系统(GM)

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泰思肯VEGA 3 LMU/LMH扫描电镜

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泰思肯VEGA3 GMH/VEGA3 GMU扫描电镜

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标准号
18/30344520 DC
发布
2018年
发布单位
英国标准学会
当前最新
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