EN ISO 14644-8:2022
洁净室及相关受控环境-第8部分:分类的空气清洁化学浓度(ACC)

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Assessment of air cleanliness by chemical concentration (ACC) (ISO 14644-8:2022)

2023-01

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标准号
EN ISO 14644-8:2022
发布
2022年
发布单位
欧洲标准化委员会
当前最新
EN ISO 14644-8:2022
 
 
本文件建立了典型的评估流程，以确定洁净室和相关受控环境中空气化学清洁度（ACC）的分级水平，根据特定化学物质（个体、群体或类别）的空气浓度，并提供了包括测试方法、分析和时间加权因素来确定。 本文件目前仅考虑洁净室操作条件下空气化学污染物浓度在 100 g/m3 至 10−12 g/m3 之间。 本文件不适用于空气中化学物质的存在不被视为对产品或过程构成风险的...

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