GB/T 14142-2017
硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法

Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique

GBT14142-2017, GB14142-2017


标准号
GB/T 14142-2017
别名
GBT14142-2017, GB14142-2017
发布
2017年
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
当前最新
GB/T 14142-2017
 
 
被代替标准
GB/T 14142-1993

GB/T 14142-2017相似标准

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谁引用了GB/T 14142-2017 更多引用

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