SEMI E74-0301 (Reapproved 0307)-2007
涡轮分子泵真空泵接口规范

SPECIFICATION FOR VACUUM PUMP INTERFACES TURBOMOLECULAR PUMPS


SEMI E74-0301 (Reapproved 0307)-2007 中,可能用到以下仪器设备

 

Agilent IDP-3 无油涡旋式真空泵

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安捷伦科技(中国)有限公司

 

IDP-10 无油涡旋式真空泵

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安捷伦科技(中国)有限公司

 

安捷伦 涡旋式干泵 TriScroll 600

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安捷伦科技(中国)有限公司

 

CXF-320/3001型磁悬浮分子泵

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北京中科科仪技术发展有限责任公司

 

FJ-700型分子泵机组

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北京中科科仪技术发展有限责任公司

 

FJ-100型分子泵机组

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北京中科科仪技术发展有限责任公司

 

CXF-250/2301型磁悬浮分子泵

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北京中科科仪技术发展有限责任公司

 

JTFB分子泵系列

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

磁悬浮系列分子泵

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

普发真空 HiPace® 80 涡轮分子泵

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普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

普发真空 HiPace®10 涡轮分子泵

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普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

普发真空 HiPace® 300 H 涡轮分子泵

普发真空 HiPace® 300 H 涡轮分子泵

普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

普发真空HiCube系列涡轮分子泵组

普发真空HiCube系列涡轮分子泵组

普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

普发真空HiPace系列涡轮分子泵

普发真空HiPace系列涡轮分子泵

普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

上海伯东普发涡轮分子泵HiPace 60P

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伯东企业(上海)有限公司/Polycold

 

伯东公司德国普发Pfeiffer分子泵

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普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

伯东普发分子泵 Hipace 1800

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伯东企业(上海)有限公司/Polycold

 

伯东普发经济型分子泵组 HiCube 80 Eco

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伯东企业(上海)有限公司/Polycold

 

全磁浮分子泵 Hipace 300M

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伯东企业(上海)有限公司/Polycold

 

德国普发+HiPace+分子泵

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普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

伯东德国普发分子泵Hipace 300

伯东德国普发分子泵Hipace 300

普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

伯东Pfeiffer 分子泵 Hipace 80

伯东Pfeiffer 分子泵 Hipace 80

普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

伯东公司Pfeiffer 普发分子泵

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普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

伯东普发经济型分子泵组 HiCube 80 Eco

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普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

伯东Pfeiffer分子泵 Hipace 400

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伯东企业(上海)有限公司/Polycold

 

伯东Pfeiffer 分子泵 Hipace 700

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普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

伯东普发分子泵 Hipace 1200

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普发真空技术(上海)有限公司/普发真空/pfeiffer vacuum

 

伯东普发分子泵Hipace 10

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伯东企业(上海)有限公司/Polycold

 

SEMI E74-0301 (Reapproved 0307)-2007

标准号
SEMI E74-0301 (Reapproved 0307)-2007
发布
2006年
发布单位
/
 
 

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SEMI E74-0301 (Reapproved 0307)-2007 中可能用到的仪器设备





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