KS I ISO 14644-14-2018(2023)
洁净室和相关受控环境第14部分:通过空气中颗粒浓度对设备适用性的评估

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration


哪些标准引用了KS I ISO 14644-14-2018(2023)

 

找不到引用KS I ISO 14644-14-2018(2023) 洁净室和相关受控环境第14部分:通过空气中颗粒浓度对设备适用性的评估 的标准

标准号
KS I ISO 14644-14-2018(2023)
发布
2018年
发布单位
KR-KS
当前最新
KS I ISO 14644-14-2018(2023)
 
 

KS I ISO 14644-14-2018(2023)相似标准

NF X44-101-14*NF EN ISO 14644-14:2016 洁净室和相关受控环境 第14部分：通过空气中颗粒浓度评估设备的适用性 GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性 PNS ISO 14644-14:2021 洁净室和相关受控环境.第14部分：通过空气颗粒浓度评估设备的适用性 GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分： 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性 GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

推荐

ISO14644《洁净室及其相关受控环境》标准组成

2013根据化学化合物或元素的存在情况定义洁净室表面洁净度的分类系统ISO14644-12通过纳米级颗粒浓度监测空气洁净度的指南2018根据悬浮纳米级颗粒物浓度的空气洁净度的监测ISO14644-13对表面进行清洁以便达到规定的颗粒物和化学物洁净度2017用清洁剂处理洁净室表面、洁净室设备表面和洁净室中材料表面的特定清洁程度ISO14644-14根据悬浮颗粒物浓度评估设备使用的适用性2016指定设备在洁净室和相关受控环境中适用性的评估方法...


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号