EN ISO 14644-4:2022
洁净室和相关控制环境.第4部分:设计,建造和启用

2023-06

适用范围: 本文件详细说明了创建洁净室的过程，从需求到设计、施工和启动。它适用于新建、翻新和改造的洁净室装置。它没有规定实现这些要求的具体技术或合同手段。它供洁净室安装的用户、规范制定者、设计师、购买者、供应商、建造者和性能验证者使用。主要的清洁度考虑因素是空气中的颗粒浓度。提供了针对要求、设计、施工和启动的详细清单，其中包括需要考虑的重要性能参数。确定能源管理设计方法以支持节能洁净室设计。提供了施工指南，包括启动和验证的要求。本文件的基本要素是考虑各个方面，包括维护，这将有助于确保洁净室的整个生命周期持续令人满意的运行。注：附件 A 至 D 给出了进一步的指导。 ISO 14644-1、ISO 14644-2、ISO 14644-8、ISO 14644-9、ISO 14644-10、ISO 14644-12 和 ISO 14644-17 提供了补充信息。 ISO 14644-7 提供了有关分离装置（洁净空气罩、手套箱、隔离器和微环境）的设计、构造和要求的指南。本文件中提到但未涉及以下主题：　——洁净室安装中的具体操作活动、要适应的过程和过程设备；　——消防和安全法规；　——ISO 14644-5 涵盖的持续运行、清洁和维护活动。

EN ISO 14644-4:2022洁净室和相关控制环境.第4部分:设计,建造和启用