BS EN ISO 16582:2002(2004)由/ 发布于 0000-00-00,并于 0000-00-00 实施。
。
SST-1_Glass: 衬底为玻璃片;SST-1_Cu:衬底为抛光的Cu片;SST-1_WNS-Cu:衬底为金属陶瓷型光谱选择吸收涂层(沉积在抛光的Cu片上);ST-1_Paint-Cu:衬底为黑漆(涂覆在抛光的Cu片上)。该工作发表在《Advanced Materials》上。...
随着集成电路的发展特征尺寸不断下降,制备厚度薄且具有良好热稳定性的扩散阻挡层变得越来越具有挑战性。因此在Cu膜中直接添加少量元素来制备Cu种籽层的无扩散阻挡层结构受到了广泛关注。本论文采用磁控溅射方法,制备了无扩散阻挡层Cu(Sn), Cu(C)和Cu(Sn,C)薄膜。研究了单独掺杂大原子Sn,小原子C以及同时掺杂大原子Sn和小原子C对Cu膜的微结构和性能的影响。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号