如何保证声表面波器件在高频段工作时具有较高的输出功率成为亟需解决的关键问题。 在此背景下，半导体所张金英副研究员与国防科技大学的研究团队在硅衬底上生长了金刚石膜和氮化铝薄膜，成功制备了一种嵌入式电极结构的声表面波器件。研究发现，该器件可高效激发出高达17.7 GHz的Sezawa模式的声表面波，比传统电极结构声表面波器件的输出功率提高了10.7%....
研究人员利用光刻技术研制400MHz单端口声表面波谐振器，用网络分析仪对其测量得到较高的Q值，测量结果与模拟结果吻合良好。在50～650℃的温度范围里，测试所制备的传感器件的高温特性，测试结果显示其具有良好的稳定性和线性TCF（ ～25 ppm/°C.），证明该器件具有较好的高温传感性能。 研究表明，声表面波高温传感技术可用于极端高温环境下的高灵敏度温度监测和预警。 ...
2 声表面波技术基本原理声表面波（SAW）是指能量集中在物体表面传播的弹性波,声表面波叉指换能器是一个非常重要的声表面波器件。自从出现了叉指换能器，才使声表面波技术以及声表面波传感器得到了具有实用价值的飞速发展。到目前为止，叉指换能器是可实用的声表面波换能器。...
中科院声学所超声学实验室王文研究团队与中科院空天技术研究院孙建海团队合作，将微纳声表面波器件技术与氧化石墨烯-氧化锡（GO-SnO2）纳米复合材料相结合，设计并制作了一种在室温条件下(25摄氏度)灵敏度达到ppb级的新型声表面波氨气传感器。该复合材料具有较大的表面积和较多的化学活性位点，大幅增加了氨气吸附效率，从而提高了传感器灵敏度与响应速度。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号